半導体露光装置に一致する言葉

国語辞書(1)

• はんどうたい‐ろこうそうち【半導体露光装置】

  シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。