電子線レジストに一致する言葉

国語辞書(1)

• でんしせん‐レジスト【電子線レジスト】

  電子線リソグラフィーに用いられるレジスト。走査型電子顕微鏡の技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスクの作製に使用する。