ろく‐ふ【六府】
「六衛府(ろくえふ)」の略。
ろくふっか‐いおう【六弗化硫黄】
硫黄と弗素の化合物。常温で無色無臭の気体。水に難溶。エチルアルコールにやや溶ける。化学的に非常に安定で、電子機器の絶縁体として幅広く使用される。温室効果ガスの一種で、二酸化炭素の約2万4千倍の地...
ろくふっか‐ウラン【六弗化ウラン】
ウランと弗素(ふっそ)の化合物。常温で白色の固体。セ氏約56.5度で昇華する。空気中の水分と反応して弗化水素を発生する。ガス状の六弗化ウランはガス拡散法やガス遠心分離法を経て濃縮ウランになる。化...
ろくふっか‐ブタジエン【六弗化ブタジエン】
弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサ...
