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辞書
ステレオリソグラフィー【stereolithography】
⇒光造形法
ナノリソグラフィー【nanolithography】
フォトリソグラフィーのうち、おおむね100ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。
ひかり‐リソグラフィー【光リソグラフィー】
《photolithography》⇒フォトリソグラフィー
フォトリトグラフィー【photolithography】
⇒フォトリソグラフィー
リトグラフィー【lithography】
⇒リソグラフィー
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