分子線エピタキシーに一致する言葉

国語辞書(1)

• ぶんしせん‐エピタキシー【分子線エピタキシー】

  高真空下で金属などの材料を蒸発させ、ビーム状の分子線を生成し、基板に照射することで結晶成長を促す手法。真空蒸着の一種。集積回路製作のためのエピタキシャル成長に利用される。分子線エピタクシー。MB...