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ちょうおんぱ‐けんびきょう【超音波顕微鏡】
超音波を利用する顕微鏡。周波数が100メガヘルツから3ギガヘルツの超音波パルスを試料に照射し、その反射波や透過波を圧電素子で受信し、試料表面および光学的には見られない内部構造などを観察する。電子...