EUVリソグラフィーに一致する言葉

国語辞書(1)

• イーユーブイ‐リソグラフィー【EUVリソグラフィー】

  極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。...