フルオロメタンに一致する言葉

国語辞書(1)

• フルオロメタン【fluoromethane】

  メタンを構成する水素原子1個を弗素原子1個と置換した化合物。ハイドロフルオロカーボン（HFC）に分類される代替フロンの一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられ...