プラズマエッチングに一致する言葉

国語辞書(1)

• プラズマ‐エッチング【plasma etching】

  プラズマを用いて、半導体集積回路などの微細回路を作製する方法。プラズマ中に試料をさらすことにより、不必要な部分の原子を化学的または物理的に取り去る。特に、プラズマ中の活性イオンと反応気化させて不...