マイクロマシンに一致する言葉

国語辞書(1)

• マイクロマシン【micromachine】

  超小型の部品から構成される機械装置。大きさの厳密な定義はないが、数マイクロメートルから数ミリメートル程度のものをさす。半導体集積回路の微細加工技術を応用し、MEMSとよばれる、超小型のモーターや...