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ミニマル‐ファブ【minimal fab】
半導体集積回路の超小型生産システム。半インチのシリコンウエハーから1個のチップを生産できる程度の規模をさす。装置の大きさ(幅)は約30センチメートルで、クリーンルームも必要とせず、工場全体の大き...