低温ポリシリコンに一致する言葉

国語辞書(1)

• ていおん‐ポリシリコン【低温ポリシリコン】

  セ氏600度以下で形成できる多結晶シリコン。薄膜トランジスター（TFT）の基板を製造する際、石英ガラス基板を必要とする高温ポリシリコンに比べ、安価なガラス基板を用いることができ、大型化が容易とい...