化学増幅レジストに一致する言葉

国語辞書(1)

• かがくぞうふく‐レジスト【化学増幅レジスト】

  半導体集積回路などの製造工程で使われるフォトレジストという感光材料のうち、光に反応して自ら酸を発生させ、薬品への溶けやすさを増幅するはたらきをもつもの。1980年代に実用化され、フォトリソグラフ...