液浸露光に一致する言葉

国語辞書(1)

• えきしん‐ろこう【液浸露光】

  ステッパーやスキャナーなどの半導体露光装置で、レンズとシリコンウエハーの間を超純水で満たし、高い解像度で集積回路のパターンを焼き付ける技術。従来、光学顕微鏡で用いられていた液浸法を適用したもので...