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辞書
はくまく‐アイシー【薄膜IC】
《thin film IC》シリコンウエハーの基板上に、蒸着やフォトリソグラフィー技術により多数の回路素子を配する集積回路。通常のIC・LSI・VLSIを指す。厚膜ICに比べ、格段に集積度を高め...