超純水に一致する言葉

国語辞書(1)

• ちょう‐じゅんすい【超純水】

  純水から有機物・シリカ・ウイルスなどの不純物をできる限り除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水をさす。医療分野のほか、LSIや液晶ディスプレーの半導体素子の洗浄など、幅広く利...