遠紫外線レジストに一致する言葉

国語辞書(1)

• えんしがいせん‐レジスト【遠紫外線レジスト】

  遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素(ふっそ)、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素(ふっそ)、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。