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遠紫外線レジスト（えんしがいせんレジスト） の意味

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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えんしがいせん‐レジスト〔ヱンシグワイセン‐〕【遠紫外線レジスト】
の解説

遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素 (ふっそ) 、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素 (ふっそ) 、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。

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