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遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF(クリプトン弗素 (ふっそ) 、波長248ナノメートル)、ArF(アルゴン・弗素 (ふっそ) 、波長193ナノメートル)のエキシマレーザーなどが用いられる。