電子線リソグラフィーに一致する言葉

国語辞書(1)

• でんしせん‐リソグラフィー【電子線リソグラフィー】

  半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも...