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でんしせん‐リソグラフィー【電子線リソグラフィー】
半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル(フォトマスク)と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも...
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