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メムス【MEMS】
《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。微小電気機械...
メムス‐ディスプレー【MEMSディスプレー】
《micro electro mechanical systems display》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術（MEMS）を利用し、極小のシャッターを機械的に高速開閉することで...
