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MEMS（メムス） とは？ 意味・使い方

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

メムス【MEMS】
の解説

《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。微小電気機械システム。微小電子機械システム。→マイクロマシン →MEMSディスプレー

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