プレーナー技術に一致する言葉

国語辞書(1)

• プレーナー‐ぎじゅつ【プレーナー技術】

  《planar technology》シリコン基板上に半導体集積回路を作製する技術。シリコン基板の上面を酸化させて、シリコン酸化膜で覆い、次にフォトリソグラフィーにより決められた位置の酸化膜を除...