物理気相成長法に一致する言葉

国語辞書(1)

• ぶつりきそう‐せいちょうほう【物理気相成長法】

  原料をプラズマやレーザーで加熱して蒸発させ、対象とする基板や金属の表面に、物理的に薄膜を蒸着させる方法。分子線エピタキシー、スパッタリング、イオンプレーティングなどの手法があり、半導体素子の製造...