でんし‐せん【電子線】
真空中に放射された高速度の電子の流れ。X線管・ブラウン管・電子顕微鏡などで利用。電子ビーム。EB（electron beam）。
でんしせん‐かいせつ【電子線回折】
電子線が光と同じように回折現象を示すこと。電子の波動性によって起こる。電子回折。
でんしせん‐ホログラフィー【電子線ホログラフィー】
電子線を用いたホログラフィー。試料を透過した電子線と、電子線源から直接放射された電子線による干渉縞を記録し、これをコンピューターで解析することで、試料の立体構造や電場・磁場の情報を含む画像を作成...
でんしせんホログラフィー‐けんびきょう【電子線ホログラフィー顕微鏡】
⇒ホログラフィー電子顕微鏡
でんしせん‐リソグラフィー【電子線リソグラフィー】
半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも...
