リサーチ‐パーク【research park】
研究開発型企業や国の研究機関など、官民の研究施設を中心に立地した研究学園都市。研究施設を集積することで、研究開発の高度化・効率化をめざす。ハイテクパーク。ソフトパーク。
リズモア【Lismore】
アイルランド南部、ウオーターフォード州の町。ブラックウオーター川沿いに位置する。7世紀創建のリズモア修道院に起源し、12世紀にジョン王が建てたリズモア城がある。物理学者ロバート＝ボイルの生地。...
りったい‐はんどうたい【立体半導体】
素子の配置や配線を立体構造にして集積度を高めた半導体集積回路。配線の短縮により動作の高速化と省電力化を図ることができる。三次元積層チップ。
リーク‐でんりゅう【リーク電流】
《leak current》電子回路上で本来絶縁されている部分から漏れ出す電流。また、そのような現象のこと。近年では、半導体集積回路の微細化が進んだことにより増加したトンネル効果が原因であること...
レジスト【resist】
可視光・紫外線・X線・電子線などを照射すると変成する素材。照射された部分のみ、耐薬品性の硬膜をつくったり、逆に薬品に溶けやすくなったりする。半導体集積回路やプリント基板などの作製に用いられる。→...
ろくふっか‐ブタジエン【六弗化ブタジエン】
弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサ...
ロジック‐アイシー【ロジックIC】
《logic integrated circuit》論理回路に共通する基本的な回路をまとめた集積回路。AND(アンド)回路・OR(オア)回路・NOT(ノット)回路・NAND(ナンド)回路・NOR...
ろんり‐そし【論理素子】
論理演算を行う論理回路の最小構成要素。IC（集積回路）などの電子素子。基本論理演算素子。論理演算素子。
ワイヤ‐ボンディング【wire bonding】
集積回路の電極などを、回路基板に微細な金属線で接続して固定すること。→フリップチップボンディング
