memsで始まる言葉

メムス【MEMS】

《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。微小電気機械...

メムス‐ディスプレー【MEMSディスプレー】

《micro electro mechanical systems display》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術（MEMS）を利用し、極小のシャッターを機械的に高速開閉することで...