遠紫外線で始まる言葉

えん‐しがいせん【遠紫外線】

波長10〜200ナノメートル程度の紫外線。大気中の酸素分子や窒素分子に吸収されるため、地表には到達しない。真空状態で伝播することから真空紫外線ともいう。遠紫外光。FUV（far ultravio...

えんしがいせん‐レジスト【遠紫外線レジスト】

遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素(ふっそ)、波長248ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素(ふっそ)、波長193ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。