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光・紫外線などを光源とするレジスト。IC回路・LSI回路・プリント配線などの作製に用いられる。光レジスト。
出典：デジタル大辞泉（小学館）
出典：gooニュース
先端半導体用フォトレジスト増強…住友化学、大阪工場に200億円投資
住友化学は26日、大阪工場（大阪市此花区）で先端半導体用フォトレジストの開発・量産評価体制を強化すると発表した。約200億円を投じて先端露光機を中心とした評価設備を拡充し、2025年度―26年度上期にかけて順次稼働させる予定。前工程・後工程向けの体制を整え、先端半導体メーカーからの受注拡大につなげる。
ニュースイッチ2025/03/01 06:00
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