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• パーフルオロカーボン【perfluorocarbon】

  炭化水素の水素原子をすべてフッ素原子に置き換えたものの総称。半導体基板の洗浄剤や代替フロンとして用いられる。非常に強力な温室効果ガスであるため、厳重な排出規制がなされる。酸素や二酸化炭素をよく溶...

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