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辞書
半導体集積回路、液晶ディスプレーなどの製造工程で、フォトリソグラフィー技術によってシリコン基板上に焼き込まれる回路のパターンの原板。透明なガラスや石英が用いられる。マスク。レチクル。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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