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辞書
強いレーザー光を固体表面に照射し、局所的に高温となった表面層が蒸発することで、原子、分子、プラズマ、およびそれらのクラスターが飛散する現象。質量分析や蒸着などに利用される。レーザースパッタリング。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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