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極紫外線（きょくしがいせん） とは？ 意味・読み方・使い方

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きょく‐しがいせん〔‐シグワイセン〕【極紫外線】
の解説

波長1〜10ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線 →遠紫外線

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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