でんしせいふ‐の‐そうごうまどぐち【電子政府の総合窓口】
⇒e-Gov(イーガブ)
でんしせっけい‐じどうか【電子設計自動化】
⇒イー‐ディー‐エー(EDA)
でんし‐せん【電子戦】
敵の電子兵器の使用を妨害し、味方の兵器を有効に使用するための諸方策。
でんし‐せん【電子線】
真空中に放射された高速度の電子の流れ。X線管・ブラウン管・電子顕微鏡などで利用。電子ビーム。EB(electron beam)。
でんしせん‐かいせつ【電子線回折】
電子線が光と同じように回折現象を示すこと。電子の波動性によって起こる。電子回折。
でんし‐せんしょく【電子染色】
ある特定の生体組織や細胞の構造体を、電子顕微鏡で観察しやすくするために用いられる薬品。光学顕微鏡のための染色液と異なり、電子顕微鏡は色を識別できないため、電子線を散乱させるウランや鉛などの重金属...
でんしせん‐ホログラフィー【電子線ホログラフィー】
電子線を用いたホログラフィー。試料を透過した電子線と、電子線源から直接放射された電子線による干渉縞を記録し、これをコンピューターで解析することで、試料の立体構造や電場・磁場の情報を含む画像を作成...
でんしせんホログラフィー‐けんびきょう【電子線ホログラフィー顕微鏡】
⇒ホログラフィー電子顕微鏡
でんしせん‐リソグラフィー【電子線リソグラフィー】
半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル(フォトマスク)と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも...
でんしせん‐レジスト【電子線レジスト】
電子線リソグラフィーに用いられるレジスト。走査型電子顕微鏡の技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスクの作製に使用する。