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はんどうたい‐せいぞうそうち【半導体製造装置】
半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加(ドーピング)する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け(フォトリソグラフィー)をする露光装置、組み立てや検査をする装...
はんどうたいせいぞうそうち‐つうしんスタンダード【半導体製造装置通信スタンダード】
⇒セクス
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