極紫外線で始まる言葉

きょく‐しがいせん【極紫外線】

波長1〜10ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ult...

きょくしがいせん‐リソグラフィー【極紫外線リソグラフィー】

⇒EUVリソグラフィー