euvで始まる言葉

イー‐ユー‐ブイ【EUV】

《extreme ultraviolet》⇒極紫外線

イー‐ユー‐ブイ‐エル【EUVL】

《extreme ultraviolet lithography》⇒EUVリソグラフィー

イーユーブイ‐リソグラフィー【EUVリソグラフィー】

極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。...