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半導体製造装置（はんどうたいせいぞうそうち） とは？ 意味・読み方・使い方

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はんどうたい‐せいぞうそうち〔ハンダウタイセイザウサウチ〕【半導体製造装置】
の解説

半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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