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イオンビーム（ion beam） とは？ 意味・読み方・使い方

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イオン‐ビーム【ion beam】
の解説

原子から取り出したイオンを高速加速して得られる光線状の流れ。固体に当てると内部にイオンがもぐりこむのを利用して、半導体への不純物注入や集積回路の作製、金属の表面加工などに用いられる。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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