ドライエッチング（dry etching）とは？意味・読み方・使い方

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ドライ‐エッチング【dry etching】
の解説

半導体集積回路などの微細回路を作製する際、プラズマガスやイオンを用いて、不必要な部分を取り去ること。乾式エッチング。→エッチング3 →プラズマエッチング

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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