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超音波顕微鏡（ちょうおんぱけんびきょう） とは？ 意味・読み方・使い方

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ちょうおんぱ‐けんびきょう〔テウオンパケンビキヤウ〕【超音波顕微鏡】
の解説

超音波を利用する顕微鏡。周波数が100メガヘルツから3ギガヘルツの超音波パルスを試料に照射し、その反射波や透過波を圧電素子で受信し、試料表面および光学的には見られない内部構造などを観察する。電子部品、半導体素子の非破壊検査などに使われる。1マイクロメートル程度の分解能をもつ。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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