出典:gooニュース
半導体露光装置が不調…ニコンの4―12月期、営業益76%減
精機事業ではフラットパネルディスプレー(FPD)露光装置の販売が好調だったが、半導体露光装置やコンポーネントの販売減が響いた。特に半導体露光装置では25年度も同様の傾向が続くと見ており「欧米拠点でリソースの最適化を検討している」(同社)という。 【関連記事】 世界の半導体工場で、揺るぎない信頼を集めるクリーン搬送装置
半導体露光装置生かす…東大とJSR、平面レンズ安価に量産へ新手法
JSRのカラーレジストに半導体露光装置で紫外線を照射して平面レンズ用の同心円パターンを形成する。カラーレジストは特定の波長の光を吸収して遮断する。すると同心円パターンで回折が起こり、通常のレンズのように集光できる。 従来は成膜装置やエッチング装置など、複数の工程が必要だったが、露光装置だけで生産できるようになる。
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