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モノシラン（monosilane） とは？ 意味・読み方・使い方

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モノシラン【monosilane】
の解説

珪素 (けいそ) の水素化物、シランの一つ。半導体、太陽電池など高純度珪素の製造原料となる。シリコメタン。化学式SiH4

出典：デジタル大辞泉（小学館）

モノシラン のカテゴリ情報

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