分子線エピタキシー（ぶんしせんエピタキシー）とは？意味・読み方・使い方

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ぶんしせん‐エピタキシー【分子線エピタキシー】
の解説

高真空下で金属などの材料を蒸発させ、ビーム状の分子線を生成し、基板に照射することで結晶成長を促す手法。真空蒸着の一種。集積回路製作のためのエピタキシャル成長に利用される。分子線エピタクシー。MBE（molecular beam epitaxy）。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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