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辞書
真空に近い低圧力を測定して、真空の度合を知る装置。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
出典:教えて!goo
サーモカップルゲージとピラニー真空計について
PVDの装置に使用している真空計のなかに、サーモカップルゲージ(T/Cゲージ)とピラニーゲージ(コンベクトロン)がありますが、測定範囲がほぼ同じであるにもかかわらず、前者は、クラ...
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