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エッチングガス（etching gas） とは？ 意味・読み方・使い方

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エッチング‐ガス【etching gas】
の解説

ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化硫黄、六弗化ブタジエンなどが知られる。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

エッチングガス のカテゴリ情報

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