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超純水（ちょうじゅんすい） とは？ 意味・読み方・使い方

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ちょう‐じゅんすい〔テウ‐〕【超純水】
の解説

純水から有機物・シリカ・ウイルスなどの不純物をできる限り除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水をさす。医療分野のほか、LSIや液晶ディスプレーの半導体素子の洗浄など、幅広く利用される。

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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