dポイントと交換できるWelcome!スタンプをあつめよう

電子線リソグラフィー（でんしせんリソグラフィー） とは？ 意味・読み方・使い方

ブックマークへ登録
  • 意味
  • 例文
  • 慣用句
  • 画像

でんしせん‐リソグラフィー【電子線リソグラフィー】
の解説

半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも微細な加工が可能。電子線を基板に直接照射して回路パターンを刻み込む手法もある。Eビームリソグラフィー。

「でんし【電子】」の全ての意味を見る

出典：デジタル大辞泉（小学館）

電子線リソグラフィー のカテゴリ情報

出典：デジタル大辞泉（小学館）

［物理・化学］の言葉

［物理・化学の言葉］の言葉

電子線リソグラフィー の前後の言葉

新着ワード

goo辞書とは

goo辞書は無料で使える辞書・辞典の検索サービスです。1999年にポータルサイト初の辞書サービスとして提供を開始しました。出版社による信頼性の高い語学辞典（国語辞書、英和辞書、和英辞書、類語辞書、四字熟語、漢字など）と多種多様な専門用語集を配信しています。すべての辞書をまとめて検索する「横断検索」と特定の辞書を検索する「個別検索」が可能です。国語辞書ではニュース記事や青空文庫での言葉の使用例が確認でき、使い方が分からない時に便利です。
閲覧履歴

カテゴリ内検索ランキング

2024/11/25

カテゴリ内検索ランキング

 2023年11月

このページをシェア

更新情報・お知らせ