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電界イオン顕微鏡（でんかいイオンけんびきょう） とは？ 意味・使い方

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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でんかいイオン‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【電界イオン顕微鏡】
の解説

光線の代わりに高電圧で加速されたイオンビームを用いるイオン顕微鏡の一。1951年に米国のE＝W＝ミュラーが発明。鋭く尖った針状の試料を使い、その先端部分の原子配列を半球状のスクリーンに拡大投影して観察する。FIM（field ion microscope）。

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