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光線の代わりに高電圧で加速されたイオンビームを用いるイオン顕微鏡の一。1951年に米国のE=W=ミュラーが発明。鋭く尖った針状の試料を使い、その先端部分の原子配列を半球状のスクリーンに拡大投影して観察する。FIM(field ion microscope)。

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