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代表的な真空計の一。真空に近い低圧力の下では、気体の熱伝導率が圧力に比例する性質を利用する。通電加熱した金属フィラメントの温度変化を、電気抵抗の変化や熱電対により測定し、気体の圧力を求める。測定範囲は1000分の1〜100パスカル程度。ピラニゲージ。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
出典:教えて!goo
ピラニ真空計の故障
ulvac製ピラニ真空計GP-2T型を使用しているのですが、高真空に引いているはずなのに目盛の表示が Lレンジで0.1Torr~0.05Torrの間でとまってしまい、それ以上動かなくなってしまいます。確認し...
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