えきしんたいぶつレンズ【液浸対物レンズ】
顕微鏡の対物レンズで、試料とレンズとの間を、レンズとほぼ屈折率の等しい液体で満たして用いるもの。開口数が増し、解像力を上げることができる。→液浸法
えきしんひょうほん【液浸標本】
防腐や保存のために、アルコールやホルマリンの水溶液につけた標本。剝製と違い、内臓などの内部組織も保存できる。
えきしんほう【液浸法】
顕微鏡で、試料とレンズとの間をレンズとほぼ屈折率が等しい液体で満たすこと。このための対物レンズを液浸対物レンズといい、開口数を増して、解像力を上げることができる。ふつうシーダー油が使われることが多いため、油浸法ともいう。
えきしんろこう【液浸露光】
ステッパーやスキャナーなどの半導体露光装置で、レンズとシリコンウエハーの間を超純水で満たし、高い解像度で集積回路のパターンを焼き付ける技術。従来、光学顕微鏡で用いられていた液浸法を適用したもので、数十ナノメートル以下の製造プロセスが可能になった。